測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數據，把采集到的數據在計

算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到 Excel 中，讓用戶對數據進行各種

數據分析

技 術 指 標 ：

測量范圍

電阻率：10-5～105 ?.cm(可擴展)；

方塊電阻：10-4～106 ?/□(可擴展)；

電導率：10-5～105 s/cm；

電阻：10-5～105 ?；

可測晶片厚度

≤3mm

可測晶片直徑

140mmX150mm(配 S-2A 型測試臺)；

200mmX200mm(配 S-2B 型測試臺)；

400mmX500mm(配 S-2C 型測試臺)；

恒流源

電流量程分為 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六檔，各檔電流

連續(xù)可調

數字電壓表

量程及表示形式 000.00～199.99 mV；

分辨力：10μV；

輸入阻抗＞1000M?；

精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000M?；

機械游移率：≤0.3％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

( 按 JJG508-87 進行)

0.01?、0.1?、1?、10?、100?、1000?、10000?≤0.3％±1 字

整機測量*大相對誤差 (用硅標樣片:0.01-180?.cm 測試) ≤±4％

整機測量標準不確定度 ≤4％

計算機通訊接口 并口

標準使用環(huán)境

溫度：25±5℃；

相對濕度：≤65％；

無高頻干擾；